技术指标：
>多镀层，1～4层
>测试精度：0.01 um
>多次测量重复性误差<0.1％
>元素分析范围从铝(al)到铀(u)
>测量时间：10-60秒
>si-pin探测器，能量分辨率为125±5电子伏特
>微焦x射线管50kv/1ma，钨靶，焦斑尺寸 75um
>7个准直器及6个滤光片自动切换
>xyz三维移动平台，荷载为5公斤
>高清ccd摄像头，准确监控位置
>多变量非线性去卷积曲线拟合
>高性能fp/mlsq分析
> 平台尺寸 700x580x25 mm
>平台移动范围 300(x)x300(y)x25 (z)mm
深圳市善时仪器有限公司
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